真空泵在微波管中的使用
2019-6-12 11:28:50 點(diǎn)擊：
微波管是利用電場、磁場來控制電子束在其內(nèi)部運(yùn)動，使電子束產(chǎn)生、加速、運(yùn)動、收集以及和信號相互作用，以至達(dá)到信號放大的目的。因此，避免電子對氣體分子間的碰撞，呆證電子在微波管內(nèi)部的運(yùn)動規(guī)律，方止發(fā)射熱電子的陰極氧化中毒，把微波管抽到一定真空度保證微波管的正常工作，是絕對必要的。微波管的整個(gè)壽命期間要求維持高真空或超高真空狀態(tài)。真空度的好環(huán)直接影響到微波管的可靠性能。
高真空環(huán)境的獲得和維持微波管內(nèi)的真空度的獲得，主要通過排氣工藝把管內(nèi)氣體抽出，從而獲得一定的真空度。由于微波管結(jié)構(gòu)復(fù)雜，零件繁多，一般都是100種以上；真空氣密性焊縫多，一般有幾十道焊縫。所以在排氣時(shí)需要加熱到高溫對金屬零件和焊接處進(jìn)行出氣處理。這樣在微波管工作狀態(tài)下，內(nèi)部零件溫度會身高，就不會出氣了，這樣在工作狀態(tài)下仍然會保證高的真空度。常用的排氣系統(tǒng)為油擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)和渦輪分子泵排氣系統(tǒng)，主要組成為前級泵（機(jī)械泵、羅茨泵等）粗抽，然后利用主泵（油擴(kuò)散泵、分子泵等），配置必要的真空管道、一定高真空閥門、所需的真空計(jì)（電阻真空計(jì)、電離真空計(jì)、B-A真空計(jì)等）把真空度抽至高真空。當(dāng)利用油擴(kuò)散泵時(shí)，還需要加一擋油阱，防止泵油對真空器件內(nèi)部系統(tǒng)污染程度。
高真空環(huán)境的獲得和維持微波管內(nèi)的真空度的獲得，主要通過排氣工藝把管內(nèi)氣體抽出，從而獲得一定的真空度。由于微波管結(jié)構(gòu)復(fù)雜，零件繁多，一般都是100種以上；真空氣密性焊縫多，一般有幾十道焊縫。所以在排氣時(shí)需要加熱到高溫對金屬零件和焊接處進(jìn)行出氣處理。這樣在微波管工作狀態(tài)下，內(nèi)部零件溫度會身高，就不會出氣了，這樣在工作狀態(tài)下仍然會保證高的真空度。常用的排氣系統(tǒng)為油擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)和渦輪分子泵排氣系統(tǒng)，主要組成為前級泵（機(jī)械泵、羅茨泵等）粗抽，然后利用主泵（油擴(kuò)散泵、分子泵等），配置必要的真空管道、一定高真空閥門、所需的真空計(jì)（電阻真空計(jì)、電離真空計(jì)、B-A真空計(jì)等）把真空度抽至高真空。當(dāng)利用油擴(kuò)散泵時(shí)，還需要加一擋油阱，防止泵油對真空器件內(nèi)部系統(tǒng)污染程度。
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